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  《辽宁师范大学学报(自然科学版)》为季刊,主要刊载数学、物理学、化学、生 ...

MgxZn1-xO复合薄膜带隙展宽的研究

作者: 王玉新 臧谷丹 崔潇文 赵帅 王磊 李真 刘子伟

关键词: 溶胶凝胶法 ZnO薄膜 MgxZn1-xO薄膜 光致发光 带隙展宽

摘要:利用溶胶-凝胶旋涂工艺在普通玻璃基底上生长本征ZnO薄膜和MgxZn1-xO复合薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、紫外可见分光光度计(UV-vis)、光致发光(PL)等测试手段对样品进行表征,分别对半导体合金薄膜的晶格参数与结构、结晶质量、光学透过率及其禁带宽度进行分析与研究.比较MgxZn1-xO薄膜与本征ZnO薄膜的XRD图谱后发现,Mg元素可提高薄膜的结晶质量,但是复合薄膜的c轴择优取向没有因为Mg元素的引入而得到改善.随着Mg元素掺杂量的增加,MgxZn1-xO(x=0.10、0.20、0.30)复合薄膜的带隙随之变宽,薄膜组分为Mg0.20Zn0.80O和Mg0.30Zn0.70O时,光致发光谱中出现了强度较大的紫外发光峰,组分为Mg0.20Zn0.80O薄膜的带隙展宽效果较为明显且光学透过率较优.


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